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化学气相沉积TiN薄膜组织性能研究
研究了用化学相沉积方法在钢基体表面形成TiN薄膜的组织和性能结果表明,由于钢中的铁和碳向膜层中扩散,膜层的组织中存在有少量的......
期刊
氮化钛
薄膜
化学气相沉积
组织
性能
Α-FE
含碳量
钢
TiN
film layer
microstructure
hardness.
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