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一种新的补偿硅电阻率/掺杂浓度模型
硅片或硅块的电阻率与掺杂浓度的关系模型不适用于补偿硅,如精纯冶金级硅(UMG-Si).目前尚无合适的理论模型可以准确解释补偿硅实验......
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