介绍了Mo2 C膜表面粗糙度的测量结果 ,引入晶粒边界修正 ,对Mo2 C膜的表面快速粗糙化现象给予理论解释 . The measurement result......

引入晶粒边界修正，改进了Ｍｏ２Ｃ膜表面粗糙化物理模型，将ＤＴ２模型推广到包括有温度的情况，对Ｍｏ２Ｃ膜表面形态进行计算机模拟并统计模拟图的高度分布，确......