【摘 要】
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采用电沉积方法在氧化铟锡（ITO）导电玻璃上沉积了ZnS薄膜,利用X射线衍射仪（XRD）、紫外-可见光（UV-VIS）分光光度计对薄膜的微结构和光学性能进行了表征,研究了热处理条件对薄膜的相
【机 构】
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武汉理工大学硅酸盐材料工程教育部重点实验室
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采用电沉积方法在氧化铟锡（ITO）导电玻璃上沉积了ZnS薄膜,利用X射线衍射仪（XRD）、紫外-可见光（UV-VIS）分光光度计对薄膜的微结构和光学性能进行了表征,研究了热处理条件对薄膜的相组成和光学性能的影响。结果表明：电沉积制备的ZnS薄膜呈非晶态,并且含有单质Zn。硫化热处理可以改善薄膜的结晶状况,减少杂质Zn的含量。硫气氛中450℃热处理4 h之后,薄膜中单质Zn全部反应生产ZnS,得到了纯的ZnS薄膜。没有经过热处理的薄膜,其可见光透射率在70%左右,热处理后薄膜样品的透射率降低,在硫气氛中热处
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