激光消融与光化学蒸气沉积

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激光消融与光化学蒸气沉积1.引言最近激光消融和光化学蒸气沉积作为生产各种薄膜的可能沉积法而受到重视。在激光消融中,强脉冲激光束将固体靶表面气化,并在真空室内沉积到基片上成为薄膜。激光消融的原始概念,在1960年激光问世不久就想到了[‘]。此后进行了一... Laser Ablation and Photochemical Vapor Deposition 1. Introduction Recently laser ablation and photochemical vapor deposition have gained prominence as possible deposition methods for the production of various thin films. In laser ablation, a strong pulsed laser beam gasses the solid target surface and deposits on the substrate in a vacuum chamber to become a thin film. The original concept of laser ablation came to mind shortly after the 1960 laser came out. After a ...
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