退火气氛对铝箔高压比电容的影响

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本文研究了L_(01)硬态铝箔在氮气和空气中,630℃退火的氧化增重和高压比电容随退火保温时间而变化的规律。通过对实验数据作非线性回归,发现在氮气中退火,氧化增重与退火时间(t)呈负指数关系,增重速率近似与1/t~2成比例,而比电容的增长速率却与1/t成比例;与此相反,在空气中退火,铝箔的氧化增重与退火时间(t)的对数呈直线关系,增重速率与1/t成比例,而比电容的增长速率则与1/t~2成比例。这说明,在氮气中退火,铝箔氧化膜增长慢,而比电容增加快。SEM观察说明,空气中退火产生的较厚的氧化膜,将造成铝箔腐蚀不均匀,出现块状欠腐蚀区,使比电容下降。在630℃退火,保温时间在5~50分钟范围内,实测400V形成的比电容数据表明,在氮气中退火的比在空气中退火的要高6%~10%。 In this paper, the law of oxidation weight gain and high voltage specific capacitance of L_ (01) hard aluminum foil annealed at 630 ℃ in nitrogen and air with annealing holding time was studied. Through the nonlinear regression of experimental data, it was found that in nitrogen annealing, oxidation weight gain and annealing time (t) showed a negative exponential relationship, the weight gain rate is approximately proportional to 1 / t ~ 2, while the growth rate of specific capacitance with On the other hand, when annealed in air, the oxidation weight gain of aluminum foil has a linear relationship with the logarithm of annealing time (t), the weight gain rate is proportional to 1 / t, and the rate of increase of specific capacitance It is proportional to 1 / t ~ 2. This shows that annealing in nitrogen, aluminum oxide film slow growth, and capacitance increase faster. SEM observation shows that the thicker oxide film produced by annealing in the air will cause the uneven corrosion of the aluminum foil and the appearance of lumpy undercorrosion area so as to decrease the specific capacitance. Annealed at 630 ° C for a holding time in the range of 5 to 50 minutes. The measured specific capacitance data at 400V shows that annealing in nitrogen is 6% to 10% higher than annealing in air.
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