256×256 Si微透镜阵列与红外焦平面阵列单片集成研究

• 作 者: 陈四海 易新建 王宏臣 孔令彬 马宏
• 机 构: 华中科技大学激光技术国家重点实验室,华中科技大学激光技术国家重点实验室,华中科技大学激光技术国家重点实验室,华中科技大学激光技术国家重点实验室,华中科技大学激光技术国家重点实验室 湖北,武汉,4300
• 出 处: 红外与毫米波学报
• 发表日期: 2001年05期
• 关键词: PtSi红外焦平面阵列 微透镜阵列 单片集成技术

基于标量衍射理论设计了 8位相菲涅尔衍射微透镜阵列 .利用多次曝光和离子束刻蚀技术在大规模面阵( 2 5 6× 2 5 6) Pt Si红外焦平面阵列的背面制作了单片集成微透镜阵列样品 (单元面积为 3 0μm× 4 0μm ) .测试结果表明 ,单片集成微透镜的红外焦平面阵列样品的信噪比提高了 2 .0倍 .