论文部分内容阅读
<正> 作为在半导体圆片中掺入杂质的离子注入,开始时是用于MOS晶体管的V_(th)控制等低浓度掺杂,是一种已获得广泛应用的技术。目前,由于离子注入机性能的提高和工艺的改进,离子注入也能用于MOS LSI的源极、漏极和双极型LSI的发射极等高浓度掺杂,几乎所有的掺杂工艺都可用离子注入技术代替。
0.8—0.5μM时代的离子注入技术
【摘 要】
：
<正> 作为在半导体圆片中掺入杂质的离子注入,开始时是用于MOS晶体管的V_(th)控制等低浓度掺杂,是一种已获得广泛应用的技术。目前,由于离子注入机性能的提高和工艺的改进,离
【机 构】
：
三菱电机,三菱电机
【出 处】
：
微细加工技术
【发表日期】
：
1990年4期
其他文献
目的：探讨急性左心衰竭患者院前急救的诊治方法及重要性。方法：应用血管扩张剂、利尿剂及改善体位等综合抢救手段。结果：48例老年左心衰竭患者41例症状得到缓解，有效率85．4％。结论：
《一个正派女人》是凯特·萧邦短篇小说中的力作之一。萧邦运用对比和反讽的手法，描述了女主人公态度和情感变化的过程，展现了在男权社会中女性意识觉醒的心路历程。小说女
欣赏是做好新时期思想政治工作的有效方法。欣赏是对他人的肯定、赞美和赏识。欣赏可以帮助人唤起自信,给人以鞭策,以争取更大成功;可以给人以鼓励,充分发挥人的潜能;有利于
近年，钙对于妊娠的影响越来越受到重视，钙是人类重要的营养素。妊娠期由于胎儿生长发育的需要，母体对钙的需要量增加，但孕期由于血容量的增加使血钙水平相对降低。国家卫生部推荐
教育宏观管理的体系建设和网络建设□天水市秦城区教育局田永祥柏甲戌《中国教育改革和发展纲要》指出：“中等及中等以下教育，由地方政府在中央大政方针的指导下，实行统筹和管理
初中阶段,电学方面的试题在每年会考(中考)及各种物理竞赛试题中占分最重。其中考察分析、综合能力的电路计算题最使学生“头痛”,得分率相对偏低。究其原因是多方面的,其中
形成性测试题编制原则例谈□天水市秦城区西十里小学李代生形成性诊断测试是目标教学课堂评价的重要手段。形成性测试题对评价教学效果、控制教学活动具有十分重要的意义，因此
实现经营性ICP网络信息安全，需要对其进行法律监管。我国相继出台了多部行政法规对经营性ICP网络信息安全实行了法律监管，但在监管模式、行政法律责任设定、组织形式等方面还存