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【摘 要】
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在化学机械抛光过程中，抛光垫表面沟槽形状是决定抛光垫性能的重要影响因素之一，它会直接影响抛光效果。在分析几种常规抛光垫表面沟槽结构形状的特性的基础上，介绍了新型抛光垫
【机 构】
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国家知识产权局专利局专利审查协作河南中心
【出 处】
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中国科技纵横
【发表日期】
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2014年19期
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