论文部分内容阅读
借鉴工程力学中测量残余应力的盲孔法,给出了一种测量半导体氧化工艺中形成的硅-二氧化硅界面残余应力的微结构应变计,并对其测量结果作了讨论.
一种测量Si/SiO2界面残余应力的微结构应变计
【摘 要】
：
借鉴工程力学中测量残余应力的盲孔法,给出了一种测量半导体氧化工艺中形成的硅-二氧化硅界面残余应力的微结构应变计,并对其测量结果作了讨论.
【出 处】
：
仪器仪表学报
【发表日期】
：
2002年z1期
其他文献
山东省茌平县地处鲁西平原，总面积1117km^2，耕地面积7．2万hm^2，总人口56万，其中农业人口为49．1万，全县农机从业人员3万多人。几年来，茌平县农机部门紧紧围绕“立足大农业，发展大农机，服
作者设计和制作了膜厚自动监控系统。利用该系统能准确控制λ／４膜层的极值厚度，其误差＜３％。该方法快速，有效，成本低廉，易于推广应用，实验结果表明，研究方法是成功的。
就目前生物质能源材料的加工产物和处理方式的类型作了概述，简述了不同生物质能产物的生成原理，介绍了生物质能源转化为其他更为高效能源的过程、方法及其历史。最后提出了加速
最近，襄汾县农机中心联合县工商局、质监局、公安局、电视台等多部门对该县部分农机经销网点进行了认真细致的检查。检查组先后来到刘锁成益民农机经销部、秦文斌农机经销部、
激光角度传感器及其在风洞模型中的应用曹茂盛，刘兵（齐齐哈尔轻工学院）（哈尔滨工业大学）０引言八十年代初，美国的Ｃ·Ｒ·ｐｏｎｄ等人建立了一种激光干涉测量角度的装置，实现了对风洞模型攻角的实时动态精密测量［１］［２］。由于这种测量要求不影响风洞模型周围...
加入WTO之后,绿色壁垒成为制约我国对外贸易发展的巨大障碍。本文介绍了绿色壁垒的含义、实质,分析了其对我国出口产品的影响,最后提出了应对绿色壁垒的对策建议。
唱歌课是中学音乐教学的一个重点内容。我发现现在的学生喜欢唱歌课可是却不喜欢唱音乐课本上的歌曲，喜欢唱像周杰伦等一些现代的流行音乐，难道是音乐课本上的歌曲不好听，与学生
关于孔子研究,强调从宏观方面考察孔学为当前国外学者所重视这一新的趋势,认为应引起人们深刻反思;并从东方文化代表的多层次性归结到孔子以“仁”为核心的古代人道主义思想,
给出了一种嵌入式TCP/IPv6协议栈的设计与实现方法,开发了一个IPv6网络中的典型应用系统--远程温度监测系统,构建了系统的软硬件平台和实验环境,验证了嵌入式TCP/IPv6协议栈