【摘 要】
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半导体分析仪作为目前半导体器件 I‐V 特性曲线的最重要测量仪器，其微小电流低至 pA 量级，准确度至1％，采用常规直接测量方法无法实现，论文在研究校准方案的基础上，利用“加压测流
【机 构】
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中国电子科技集团公司第十三研究所 石家庄 050051
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半导体分析仪作为目前半导体器件 I‐V 特性曲线的最重要测量仪器，其微小电流低至 pA 量级，准确度至1％，采用常规直接测量方法无法实现，论文在研究校准方案的基础上，利用“加压测流法”对 G Ω量级高值电阻器进行标定，设计与其配套的无源低电流适配器，巧妙利用 Guard 技术实现对 pA 、nA 量级微小电流的校准。采用“传递比较法”与上级机构对1pA ～10nA 的微小电流进行验证，试验数据验证了论文校准方案的正确性。论文技术成果已经应用于半导体工艺线源表类测试系统的校准中，值得借鉴推广。
其他文献
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本栏多次提到，3400点是中短期后市的好淡分界线，本周初升破了，市场中期向好无疑。 技术上，从今年2月9日的3049点起运行第5波浪，可以确立。根据经验，第5浪的目标可以采用多种方法计算，其中一种是1至3浪升幅的0.618至0.66倍。以1浪的起点在去年6月的2010点计算，则目标是3910点和3969点。另一种计算方法是，假定5浪升幅是1浪的2.764倍，则目标是6961点。 再看图1，本周
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