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在传统的激光椭偏法测量厚度的基础上,用微波取代激光测量了不透明材料的厚度.分析了偏转角及反射干扰产生的误差,并提出了修正方法.测量结果表明：该方法可以比较精确地测量铝板和塑料板的厚度;由于散射的影响,表面磨砂的有机玻璃板的厚度测量误差很大.
微波椭偏法测量不透明材料的厚度
【摘 要】
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在传统的激光椭偏法测量厚度的基础上,用微波取代激光测量了不透明材料的厚度.分析了偏转角及反射干扰产生的误差,并提出了修正方法.测量结果表明：该方法可以比较精确地测量铝
【机 构】
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南京大学材料科学与工程系,南京大学匡亚明学院理科强化部,南京大学物理系
【出 处】
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物理实验
【发表日期】
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2011年2期
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