【摘 要】
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很多微波半导体器件主要取决于pn结的性质,然而最近出现新的体效应有源器件。为了满足微波频率的要求,所有类型的有源半导体器件必须具有非常小的结,典型的有源面积为10—10
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很多微波半导体器件主要取决于pn结的性质,然而最近出现新的体效应有源器件。为了满足微波频率的要求,所有类型的有源半导体器件必须具有非常小的结,典型的有源面积为10—100微米~2数量级,采用化学腐蚀或触须接触技术可以获得这么小的面积。最近应用平面技术完全可以获得足够小的有源面积,对
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