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<正>在微机械加工中,硅的各向异性腐蚀是关键技术之一.特别在当今微机械加工向微型化、多功能化及智能化发展之际,更需利用硅的各向异性腐蚀来制备三维结构.对于单晶硅材料,主要腐蚀剂如表1所示.
各向异性腐蚀在PH传感器中的应用
【摘 要】
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<正>在微机械加工中,硅的各向异性腐蚀是关键技术之一.特别在当今微机械加工向微型化、多功能化及智能化发展之际,更需利用硅的各向异性腐蚀来制备三维结构.对于单晶硅材料,
【出 处】
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电子器件
【发表日期】
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1991年3期
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