【摘 要】
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许多晶体在多线切割过程中都存在一定程度上的各向异性,主要研究不同砂浆状态及切入方向(晶向)对游离磨料多线切割<111>单晶硅翘曲度的影响。建立游离磨料线锯切割单晶硅模型
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十六研究所
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许多晶体在多线切割过程中都存在一定程度上的各向异性,主要研究不同砂浆状态及切入方向(晶向)对游离磨料多线切割<111>单晶硅翘曲度的影响。建立游离磨料线锯切割单晶硅模型,理论上分析了<111>晶向单晶硅不同切入方向对晶片翘曲度的影响。结果表明:对<111>型单晶硅而言,随着砂浆使用次数的增加,所切得硅片的翘曲度逐渐增大;从[110]、[110]、[011]、[011]、[101]及[101]六个晶向切入可有效降低晶片的翘曲度,提高晶片表面质量;在砂浆等其他状态相同的情况
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