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基于非硅表面微加工技术，设计并制造一种新型三维多方向敏感的微惯性开关。选用弹簧一质量块一阻尼的典型碰撞结构，主要由可动电极悬臂梁弹簧一质量块系统、水平固定电极、垂直复合柔性固定电极三部分组成。利用ANSYS有限元软件对器件进行模态和动力学碰撞仿真分析，并对该微机械惯性开关进行落锤冲击试验，结果表明，在水平和竖直方向的阈值均为50～60g，接触时间可稳定在40μs以上。