通过ZNB20矢量网络分析仪研究AlN声表面波器件的频率响应特性

• 作 者: 高俊宁 蒋健柏 李国强
• 机 构: 发光材料与器件国家重点实验室,华南理工大学材料学院,广东省半导体照明与信息化工程技术研究中心
• 出 处: 中国集成电路
• 发表日期: 2017年8期
• 关键词: 声表面波器件 ZNB20 SAW ALN Surface acoustic wave device ZNB 20 SAW AlN

作为选频滤波器,声表面波（SAW）器件在移动通讯领域有重要应用,在传感领域也有广阔的应用前景。AlN声速高,热导率高,材料的内禀损耗小,适合作高频SAW器件的压电转换材料。矢量网络分析仪是SAW器件性能表征的关键仪器。本文采用ZNB20矢量网络分析仪,搭载ST-103A手动变温探针台,通过片上测试,研究了AlN薄膜SAW器件的频率响应特性,并研究了器件的温度系数。研究发现,所制备的器件在其零阶谐振（341 MHz）处,其插入损耗为35 dB,品质因子为188,带边抑制约30 dB,器件的频率温度系数为-7