【摘 要】
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本文给出纳米多晶硅薄膜压力传感器,由方形硅膜和四个纳米多晶硅薄膜电阻构成惠斯通电桥结构组成,采用MEMS技术在硅片实现传感器芯片制作。当工作电压VDD = 5.0 V时,传感器灵
【基金项目】
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国家大学生创新训练项目(201410212001)
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本文给出纳米多晶硅薄膜压力传感器,由方形硅膜和四个纳米多晶硅薄膜电阻构成惠斯通电桥结构组成,采用MEMS技术在硅片实现传感器芯片制作。当工作电压VDD = 5.0 V时,传感器灵敏度为0.15 mV/kPa,准确度为0.39 %F.S.,可实现轮胎胎压测量。根据胎压传感器特性和NRF24L01无线通信技术,实现胎压监测系统设计。通过无线模块实现实时数据传输,该系统可实现对轮胎胎压的实时监测,保证车辆安全。
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