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在国产ＢＳＭ－２５型扫描电子显微镜上，通过使用ＺｒＯＷ高亮度阴极、抑制高压纹波、减小聚光镜球差等措施后，使其图像分辨率从１５ｎｍ提高到５ｎｍ．同时，焦深和信噪比亦较好．该实验结果对国产电镜性能的改善具有重要意义
BSM-25型扫描电子显微镜高分辨率的实现
【摘 要】
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在国产ＢＳＭ－２５型扫描电子显微镜上，通过使用ＺｒＯＷ高亮度阴极、抑制高压纹波、减小聚光镜球差等措施后，使其图像分辨率从１５ｎｍ提高到５ｎｍ．同时，焦深和信噪比亦较好．该实验结果对国产电镜性能的改善具有
【机 构】
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云南大学物理系
【出 处】
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云南大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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1999年S1期
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