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溶胶—凝胶工艺制备梯度折射率薄膜的研究
溶胶—凝胶工艺制备梯度折射率薄膜的研究
来源 :电子器件 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Lincon
【摘 要】
:
采用溶胶-凝胶工艺制备梯度折射率薄膜,薄膜中的折射率变化是由折射率调制元素在湿凝胶中的化学反应和扩散产生。本文详述了材料的制备过程,并对材料的结构和光学性能进行了研究
【作 者】
:
刘泽
李永祥
【机 构】
:
东南大学电子工程系
【出 处】
:
电子器件
【发表日期】
:
1998年1期
【关键词】
:
梯度折射率
溶胶-凝胶
薄膜
Gradientindex
antireflection film
SiO2TiO2chemical treatment
【基金项目】
:
国家自然科学基金
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采用溶胶-凝胶工艺制备梯度折射率薄膜,薄膜中的折射率变化是由折射率调制元素在湿凝胶中的化学反应和扩散产生。本文详述了材料的制备过程,并对材料的结构和光学性能进行了研究。
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