【摘 要】
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简述了反应离子刻蚀(RIE)技术在微型传感器部件加工制造中的应用,报道了采用NF_3、SF_6等气体反应离子刻蚀Si的实验结果,研制出了φ300μm的微型Si齿轮。
The application o
【机 构】
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中科院传感技术联合开放实验室,中科院传感技术联合开放实验室,中科院传感技术联合开放实验室
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简述了反应离子刻蚀(RIE)技术在微型传感器部件加工制造中的应用,报道了采用NF_3、SF_6等气体反应离子刻蚀Si的实验结果,研制出了φ300μm的微型Si齿轮。
The application of reactive ion etching (RIE) technology in the manufacture of micro sensor parts is briefly described. The experimental results of using reactive ion etching of NF_3 and SF_6 gas to produce Si micro - Si gear with φ300μm have been reported.
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