离子色谱法测定电子级气体中可水解氟化物

• 作 者: 汤月贞 侯玲玲 张金彪 黄晓磊 张景利 赵国辉 吴旭飞
• 机 构: 黎明化工研究设计院有限责任公司,
• 出 处: 化学推进剂与高分子材料
• 发表日期: 2014年03期
• 关键词: 电子级 离子色谱法 气体 可水解氟化物 体积分 淋洗液 含氟电子气体 检出限 采样体积 加标

以Na2CO3、NaHCO3淋洗液为吸收液,采用多孔气体分布管,将含氟气体中的可水解氟化物转变为氟离子。在此基础上利用离子色谱定量,可准确测定电子级产品中痕量可水解氟化物。该法检出限低、灵敏度高、精确度好,相关系数为0.999 2,按采样体积20 L计,可水解氟化物最低检出体积分数为0.01×10–6,相对标准偏差<3.5%,加标回收率为96.4%~103%。

Na2CO3, NaHCO3 eluent as absorbent, the use of porous gas distribution tube, the fluorine-containing gas in the fluoride can be converted to fluoride. On this basis, the use of ion chromatography quantitative, accurate determination of trace levels of electronic products can be hydrolyzed fluoride. The detection limit is low, the sensitivity is high and the accuracy is good. The correlation coefficient is 0.999 2. According to the sample volume of 20 L, the minimum detectable volume fraction of hydrolyzable fluoride is 0.01 × 10-6 and the relative standard deviation is less than 3.5% Spike recovery was 96.4% ~ 103%.