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以硅材料为基础的微机电系统MEMS被人们认为是21世纪革命性的新技术,是实现信息采集、处理、执行一体化,使之成为真正的系统.本文论述了MEMS的加工技术对材料提出的要求,以及近年来各种硅材料和功能材料在MEMS的应用和最新进展.
功能材料在MEMS中的应用及进展
【摘 要】
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以硅材料为基础的微机电系统MEMS被人们认为是21世纪革命性的新技术,是实现信息采集、处理、执行一体化,使之成为真正的系统.本文论述了MEMS的加工技术对材料提出的要求,以及
【机 构】
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福州大学
【出 处】
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功能材料
【发表日期】
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2004年z1期
【基金项目】
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教育部基金资助(01060),福建省科技厅基金资助(2001I004).
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