CDT荫罩堵孔异物的X射线能谱分析

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本文论述了利用扫描电子显微镜进行X射线能谱分析的原理,并对CDT制造过程中荫罩堵孔物特征X射线能谱图进行分析对比,明确堵孔物的成分及来源,为不良对策提供依据。
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