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本文简要地描述了半导体洁净厂房控制系统的组成，并详细地阐述了暖通空调系统的控制和SLC500冗余系统的原理。
SLC500系列PLC在半导体洁净厂房控制中的应用
【摘 要】
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本文简要地描述了半导体洁净厂房控制系统的组成，并详细地阐述了暖通空调系统的控制和SLC500冗余系统的原理。
【机 构】
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罗克韦尔自动化
【出 处】
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可编程控制器与工厂自动化
【发表日期】
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2007年4期
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