质子活化分析法测定硅中微量碳

• 作 者: 荣廷文 成源棣 鲍锦荣 林森浩
• 机 构: 中国科学院上海原子核研究所,中国科学院上海原子核研究所,中国科学院上海原子核研究所,中国科学院上海原子核研究所
• 出 处: 核技术
• 发表日期: 1991年03期
• 关键词: 质子 活化分析 熔融法 质子活化分析 半导体硅 碳测定 核反应 中微 瓷舟 方法灵敏度

本文叙述了利用~(13)C(p,y)~(13)N和~(13)C(p,n)~(13)N核反应,并用碱熔融法,以NH_3的形式分离出~(13)N来测定半导体硅中的微量碳。方法灵敏度可达0.1ppm。

In this paper, the reaction of ~ (13) C (p, y) ~ (13) N and ~ (13) C (p, n) ~ (13) N nuclei with ~ 13) N to determine the trace carbon in the semiconductor silicon. Method sensitivity of up to 0.1ppm.