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【摘 要】
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介绍了激光化学气相沉积的基本原理,较详细地讲述了制备金属薄膜、金刚石薄膜、类金刚石薄膜、氢化非晶硅薄膜、化合物半导体薄膜及绝缘体薄膜等所用的激光器、工艺参数以及
【机 构】
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北京机床研究所
【出 处】
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金属热处理
【发表日期】
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2007年7期
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