【摘 要】
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美国加利福尼亚州斯坦福大学(Stanford University)电气工程系固态电子学实验室教授R.F.W.Pease在访问了清华大学、陕西微电子研究所、交通大学后于3月17日来电子工业部第四
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美国加利福尼亚州斯坦福大学(Stanford University)电气工程系固态电子学实验室教授R.F.W.Pease在访问了清华大学、陕西微电子研究所、交通大学后于3月17日来电子工业部第四十八研究所参观访问。当日上午,Pease教授向该所有关工程技术人员作了关于光学曝光技术,电子束曝光技术和斯坦福大学固态
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