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本文报道了采用输出激光波长为３０８ｎｍ，脉冲宽度为２８ｎｓ的准分子激光直接清洗硅片上油脂的实验研究，通过改变光束大小或调节激光输出能量来改变基片表面上的激光能量密度，研究激光能量密度对激光清洗效果的影响。从实验中得到了硅片的激光清洗阈值为０．２ｊ／ｃｍ＾２，损伤阈值为１．２Ｊ／ｃｍ＾２。
准分子激光直接清洗硅片上油脂的实验研究
【摘 要】
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本文报道了采用输出激光波长为３０８ｎｍ，脉冲宽度为２８ｎｓ的准分子激光直接清洗硅片上油脂的实验研究，通过改变光束大小或调节激光输出能量来改变基片表面上的激光能量密度，研究激光能量密度对
【机 构】
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华中理工大学激光技术国家重点实验室
【出 处】
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激光技术
【发表日期】
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1995年5期
【基金项目】
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激光技术国家重点实验室开放基金
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