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本文论述了硅单晶生长炉从１公斤级增长到１５公斤级时，其热场设计的基本方法及大容量，长时间拉晶过程中采用的减压工艺。指出在随器件要求而增加硅片直径时，硅单昌锭的直径和长度应成比例增加，即硅单晶长度：直径应大于１０：１，而在晶体生长中，坩埚直径晶体直径应大于２．５：１。
DL—78型单晶炉的热场和减压工艺
【摘 要】
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本文论述了硅单晶生长炉从１公斤级增长到１５公斤级时，其热场设计的基本方法及大容量，长时间拉晶过程中采用的减压工艺。指出在随器件要求而增加硅片直径时，硅单昌锭的直径和长度应成
【机 构】
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上海有色金属研究所
【出 处】
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上海有色金属
【发表日期】
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1997年1期
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