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采用溶胶凝胶法(sol-gel)在Si(100)衬底上制备了掺钙钛酸铅薄膜。利用DTA-TGA考察不同钙掺杂量对晶化温度的影响;用X射线衍射技术(XRD)研究了钙的不同掺杂量对钛酸铅薄膜的结构的影响;同时用原子力电子显微镜(AFM)对薄膜的表面形貌进行研究考察掺钙对钛酸铅薄膜形貌的影响。