白光干涉测量超薄透明电极ITO薄膜的厚度

• 作 者: 陈凯 雷枫 伊藤雅英
• 机 构: 筑波大学数理物质科学研究科伊藤研究室
• 出 处: 中国光学
• 发表日期: 2015年4期
• 关键词: 白光干涉 频域分析 测量 厚度 透明电极 white light interferometry frequency domain analysis measur

随着平板显示技术的发展,透明电极ITO膜的厚度越来越薄。为了测试这种极薄的ITO膜,本文通过改进已有的频域分析算法,以便测试膜厚在20~150 nm之间的ITO膜。与现有算法相比,该算法有效改进了各个波长的位相解析精度。实验结果表明,待测透明电极薄膜的厚度为90~104 nm,其结果和标定值一致,证明了该算法能够测量膜厚小于100 nm的透明电极ITO薄膜。