【摘 要】
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针对"珠球状"催化气体传感器存在分散性大、难以批量制造等技术问题,采用铂薄膜工艺技术,结合激光微加工和离子束干法刻蚀技术,实现催化传感器微结构体积及加热电极制造;利用化
【机 构】
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哈尔滨工程大学自动化学院,中国船舶重工集团公司第七0三研究所
【基金项目】
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黑龙江省重点基金资助项目(ZD2015014), 国家自然科学基金资助项目(61473095), 科技部国际合作项目(2016YFE0110500)
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针对"珠球状"催化气体传感器存在分散性大、难以批量制造等技术问题,采用铂薄膜工艺技术,结合激光微加工和离子束干法刻蚀技术,实现催化传感器微结构体积及加热电极制造;利用化学共沉淀方法制备γ-Al2O3/SnO2活性载体,采用掺杂技术对活性载体进行ThO2+CeO2稳定化修饰,选择Pd和Pt元素作为催化剂,制作出具有微结构特点的催化甲烷传感器。测试结果表明:传感器对甲烷气体具有快响应特点,90%响应时间为10 s,恢复时间为12 s;传感器输出平均灵敏度为17 mV/(1%)CH4。
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