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本文报告了自行研制的弹道电子发射显微镜（ＢＥＥＭ）的基本工作原理、结构以及几个关键技术问题。给出了用这台仪器得到的Ａｕ／ｎ－Ｓｉ（１００）和Ａｕ／ｎ－Ｇａ（Ａｓ（１００）样品的ＢＥＥＭ谱、表面形貌像以及界面图像，并对实验结果进行了解释。
弹道电子发射显微镜的研制及对金属/半导体界面的探测
【摘 要】
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本文报告了自行研制的弹道电子发射显微镜（ＢＥＥＭ）的基本工作原理、结构以及几个关键技术问题。给出了用这台仪器得到的Ａｕ／ｎ－Ｓｉ（１００）和Ａｕ／ｎ－Ｇａ（Ａｓ（１００）样品的ＢＥＥＭ谱、表面形貌像以及界面图像，并对实验结果进行了解释。
【机 构】
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中国科学院化学研究所,中国科学院上海冶金所
【出 处】
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电子显微学报
【发表日期】
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1996年1期
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