【摘 要】
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本文用扫描红外吸收法快速测量了硅单晶中氧含量的径向分布。直接得到了氧含量径向分布的速续分布曲线。给出了透过率与氧含量对照表和关系曲线。从对照表、关系曲线或采用专
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本文用扫描红外吸收法快速测量了硅单晶中氧含量的径向分布。直接得到了氧含量径向分布的速续分布曲线。给出了透过率与氧含量对照表和关系曲线。从对照表、关系曲线或采用专门设计的记录纸均可以方便地得到硅片上测量部位的含氧量。
In this paper, the radial distribution of oxygen content in silicon single crystal is rapidly measured by scanning infrared absorption method. Directly obtained the oxygen content of the radial distribution of the continuous distribution curve. The table of transmittance and oxygen content and the relationship curve are given. From the reference table, the relationship curve or the use of specially designed recording paper can be easily obtained on the wafer oxygen content measurement sites.
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