锆钛酸铅铁电薄膜的制备及性能研究

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本文用无机锆盐代替锆的醇盐,研究了溶胶-凝胶技术制备锆钛酸铅(简称PZT)铁电薄膜的热处理工艺、结构和电性能。研究结果表明,在Si单晶基片上制备的PZT薄膜为钙钛矿型结构的陶瓷薄膜,其晶粒细小、致密,且具有良好的铁电性能,适合于制备铁电存贮器。
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