【摘 要】
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本文采用直接磁控溅射在普通钠钙玻璃衬底制备SiO2阻挡层、Mo背电极、CIGS吸收层、ZOS缓冲层、ZnO窗口层和AZO前电极,其中CIGS为四元陶瓷靶材,SiO2阻挡层、Mo背电极厚度分别
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本文采用直接磁控溅射在普通钠钙玻璃衬底制备SiO2阻挡层、Mo背电极、CIGS吸收层、ZOS缓冲层、ZnO窗口层和AZO前电极,其中CIGS为四元陶瓷靶材,SiO2阻挡层、Mo背电极厚度分别为50nm和800nm,硒化退火采用H2Se为硒源,研究P1划刻功率对电池透光的影响,并分析了其对电池性能的影响。研究表明,当P1激光器波长为1064nm,频率为65KHz,划线速度为2000mm/s时,P1划线对SiO2阻挡层的损伤是影响硒化法制备CIGS光伏太阳能电池划线位置透光的重要影响因素,P1划刻功率是重要影
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