沸石分子筛修饰用于疾病诊断的QCM气敏传感器

• 作 者: 曾磊 黄洪湖 陈声育 周嘉 谢海芬 黄宜平 赵东元
• 机 构: 复旦大学微电子学系,复旦大学微电子学系,复旦大学微电子学系,复旦大学微电子学系,复旦大学微电子学系,复旦大学微电子学系,复旦大学化学系 上海200433,上海200433,上海200433,上海200
• 出 处: 复旦学报(自然科学版)
• 发表日期: 2005年01期
• 关键词: 半导体技术 气敏传感器 石英晶体微天平 丙酮 疾病诊断 Ag ZSM-5

石英晶体微天平(QuartzCrystalMicrobalance)能将所吸附分子质量的微小改变转换成频率的变化并加以测量,具有灵敏度高,稳定性好,通用性强,工作温度范围大,尺寸小和抗干扰强等优点,是一种很理想的敏感器件.将QCM经沸石分子筛AgZSM 5修饰后,对丙酮气体的频率响应进行了测量,实验数据显示对呼出气体的探测能很好地区分出正常人和糖尿病人,对糖尿病的早期诊断具有一定的意义.