【摘 要】
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本文基于大多数p-n结的结面形状在平行于表面的横剖面上常表现为一由光刻图形的圆角决定的圆弧这一特点,提出了一种把三维计算简化为二维计算的数值计算方法.用此方法对平面p
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本文基于大多数p-n结的结面形状在平行于表面的横剖面上常表现为一由光刻图形的圆角决定的圆弧这一特点,提出了一种把三维计算简化为二维计算的数值计算方法.用此方法对平面p-n结的击穿特性进行了分析,得到了平面p-n结击穿电压随图形圆角的曲率而变的曲线.本方法还可推广应用于对圆角区其他特性的研究.
In this paper, based on the fact that the junction shape of most pn junctions often appears as a circular arc defined by the fillet of the lithographic pattern on the cross-section parallel to the surface, a method is proposed to reduce the three-dimensional computation to two-dimensional computation The numerical method is used to analyze the breakdown characteristics of planar pn junction, and the curve of the breakdown voltage of planar pn junction with curvature of the curved corner is obtained.The method can also be widely applied to the other Characteristics of the study.
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