【摘 要】
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介绍了一种新型单侧耦合16通道、100GHz通道间隔的硅基二氧化硅阵列波导光栅(AWG)。通过增加一个Y分支波导结构,将AWG的输入、输出波导等间距整齐排列,仅用一个光纤阵列(FA)
【机 构】
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中国科学院半导体研究所,中国科学院半导体研究所,中国科学院半导体研究所,中国科学院半导体研究所,中国科学院半导体研究所,中国科学院半导体研究所 北京 100083 ,北京 100083 ,北京 100
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介绍了一种新型单侧耦合16通道、100GHz通道间隔的硅基二氧化硅阵列波导光栅(AWG)。通过增加一个Y分支波导结构,将AWG的输入、输出波导等间距整齐排列,仅用一个光纤阵列(FA)就可以对AWG器件进行耦合封装。这种AWG的结构设计可有效地减小器件尺寸和增加波导结构的弯曲半径,可减少器件的抛光和耦合时间,可降低器件的成本。
A new type of silicon-on-silicon dioxide arrayed waveguide grating (AWG) with one side coupling 16 channels and 100 GHz channel spacing is introduced. By adding a Y-branch waveguide structure, the AWG input and output waveguides are arranged at regular intervals and the AWG device can be coupled and encapsulated with only one optical fiber array (FA). This AWG’s structural design can effectively reduce the size of the device and increase the bending radius of the waveguide structure, reducing the polishing and coupling time of the device and reducing the cost of the device.
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