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精密摄像系统中,摄像头镜面的安装精度要求非常高,需经过严格检测后方能使用。本文结合镜面实际安装工况,以5套精密电容测微仪为核心设计了非接触式自动测深系统。工件放置后,系统自动将其传送至测量范围内,测头自动调整至最佳测量姿态、距离,综合5套传感器数据计算出镜面安装深度。经鉴定整机精度达到2μm。
基于电容测微仪的深度自动测量系统
【摘 要】
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精密摄像系统中,摄像头镜面的安装精度要求非常高,需经过严格检测后方能使用。本文结合镜面实际安装工况,以5套精密电容测微仪为核心设计了非接触式自动测深系统。工件放置后,系统自动将其传送至测量范围内,测头自动调整至最佳测量姿态、距离,综合5套传感器数据计算出镜面安装深度。经鉴定整机精度达到2μm。
【机 构】
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天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室
【出 处】
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计量技术
【发表日期】
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2005年10期
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