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根据某多晶硅生产厂热分解工段的工艺流程及控制要求，设计了一套热分解炉控制系统；针对硅烷法生产多晶硅时分解反应需极高安全性，介绍了多晶硅生产的主要设备，分析了系统硬件构成及软件控制流程；提出了将PLC与工业以太网技术相结合，通过组态软件实现上位机监控的系统，并在工艺要求下，实现热分解炉温度PID控制；经试运行及实际生产表明，该系统安全稳定高效，可生产高纯度多晶硅，满足生产需要。