论文部分内容阅读
采用激光分子束外延技术在Al2O3衬底上成功外延生长了ZnS薄膜。用X射线衍射、扫描电子显微镜和光致发光谱表征了衬底温度对薄膜结构、形貌和光学特性的影响。结果表明所生长的ZnS薄膜为闪锌矿，具有（111）择优长向，随衬底温度的升高，X射线衍射峰的半高宽先减小后增大，在衬底温度为300℃时，半高宽最窄。薄膜结构致密，表面不平整度随衬底温度的升高而增大。薄膜的带隙随衬底温度的升高出现蓝移，可见光区域透射率最高达到98%，在360nm激发波长下，观测到402nm和468nm两个发光带，衬底温度为300℃时，发光