【摘 要】
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采用自己发展的ＨＦ化学预处理技术和常压ＭＯＣＶＤ法在多孔硅（ＰＳ）上首次生长出了基本上是单晶的ＧａＡｓ膜，研究了ＧａＡｓ膜的结构和光学特性．通过对Ｓｉ、ＰＳ、ＧａＡｓ／Ｓｉ和ＧａＡｓ／ＰＳ的Ｒａｍａｎ散射分析，初步论述了ＰＳ的Ｒａｍａｎ散射谱的峰肩起源可能与表面氧
【机 构】
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中国科技大学物理系，天津理工学院材料物理所
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采用自己发展的ＨＦ化学预处理技术和常压ＭＯＣＶＤ法在多孔硅（ＰＳ）上首次生长出了基本上是单晶的ＧａＡｓ膜，研究了ＧａＡｓ膜的结构和光学特性．通过对Ｓｉ、ＰＳ、ＧａＡｓ／Ｓｉ和ＧａＡｓ／ＰＳ的Ｒａｍａｎ散射分析，初步论述了ＰＳ的Ｒａｍａｎ散射谱的峰肩起源可能与表面氧化有关．
The first single-crystal GaAs film grown on porous silicon (PS) was grown by using HF chemical pretreatment and atmospheric MOCVD. The structure and optical properties of GaAs films were investigated. Based on the Raman scattering analysis of Si, PS, GaAs / Si and GaAs / PS, the origin of peak shoulder of the Raman scattering spectrum of PS is preliminarily discussed, which may be related to the surface oxidation.
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