【摘 要】
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报道了液氮温度Ｈｅ＋离子不同的注入能量和剂量条件下ＫＴｉＯＰＯ４晶体波导的制备，利用Ｍ线光谱法测量了退火后波导各导模的有效折射率，计算了波导层折射率的分布和晶体中离子的射程分布与损伤分布
【机 构】
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山东师范大学物理系，山东大学物理系，香港城市大学电子工程系
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报道了液氮温度Ｈｅ＋离子不同的注入能量和剂量条件下ＫＴｉＯＰＯ４晶体波导的制备，利用Ｍ线光谱法测量了退火后波导各导模的有效折射率，计算了波导层折射率的分布和晶体中离子的射程分布与损伤分布，二者吻合得较好。
The preparation of KTiOPO4 crystal waveguide at different injection energies and doses of liquid nitrogen at He + ions was reported. The effective refractive index of each guided waveguide was measured by M-line spectroscopy. The distribution of the refractive index in the waveguide layer The range distribution and damage distribution of ions coincide well with each other.
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