【摘 要】
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用电弧离子镀技术分别在硬质合金、高速钢、紫铜和铝合金这4种基体上沉积TiFeCrN膜,并对这4种膜/基复合体的显微硬度进行了研究.结果表明,Fe与Cr具有提高膜/基复合体显微硬度
【机 构】
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广东工业大学,广东工业大学,广东工业大学
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用电弧离子镀技术分别在硬质合金、高速钢、紫铜和铝合金这4种基体上沉积TiFeCrN膜,并对这4种膜/基复合体的显微硬度进行了研究.结果表明,Fe与Cr具有提高膜/基复合体显微硬度的作用,其提高的程度与薄膜成分、基体负偏压和基体材质有关.在硬质合金、高速钢(高载荷下)、紫铜3种基体上,随Fe、Cr总的含量的增大,显微硬度升高.在硬质合金、高速钢两种基体上,随负偏压的数值增大,显微硬度下降.在紫铜基体上,显微硬度的相对增量最大.
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