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采用溶胶-凝胶法在石英衬底上制备了ZAO薄膜。在氮气气氛下进行退火处理，X射线衍射（XRD）谱表明ZAO薄膜具有六角纤锌矿的晶体结构。对ZAO薄膜的光电特性进行测量，结果显示薄膜的光致发光峰发生蓝移，喇曼光谱随Al掺杂浓度的变化发生相应的改变。薄膜的电导率在Al浓度为1％，700℃退火处理时达到最高值。