【摘 要】
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MOCVD（金属有机物化学气相外延）法制备LED外延技术产生的尾气危害较大,需要进行处理才能排放。针对尾气的不同组分,对现有的几种尾气处理技术进行分析,指出各自存在的缺陷和弊
【机 构】
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广东轻工职业技术学院电子通信工程系
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MOCVD（金属有机物化学气相外延）法制备LED外延技术产生的尾气危害较大,需要进行处理才能排放。针对尾气的不同组分,对现有的几种尾气处理技术进行分析,指出各自存在的缺陷和弊端。从回收利用和节能减排两个角度出发,在原有方法的基础上进行研究改进,提出碱土金属氯化物吸附法和间接燃烧法两种新型尾气处理技术,实现了氨气的回收利用,降低处理过程中的原料投入与能源消耗,并归纳总结了行业内尾气处理与排放所面临的问题及挑战。
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