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精密工作台是超大规模集成电路制造设备中的典型机构。在实验室设备的基础上，研制了一套精密工作台误差动态测试系统。该系统采用8098单片机实现分频、比相和误差计算。系统集数据采集和处理为一体，比相范围大，测试精度高，柔性好，使用方便。
精密工作台误差测试系统
【摘 要】
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精密工作台是超大规模集成电路制造设备中的典型机构。在实验室设备的基础上，研制了一套精密工作台误差动态测试系统。该系统采用8098单片机实现分频、比相和误差计算。系统集
【机 构】
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东南大学电子精密机械研究室
【出 处】
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光学精密工程
【发表日期】
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1995年1期
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