PREPARATION OF TiO2 THIN FILMS BY MOCVD METHOD

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【摘要】

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【正】 Preparation of TiO2 thin films by MOCVD method is presented in this paper. A MOCVD system has been designed and built. A wide range of process

【出处】

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真空科学与技术学报

【发表日期】

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1992年Z1期

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【正】 Preparation of TiO2 thin films by MOCVD method is presented in this paper. A MOCVD system has been designed and built. A wide range of processing conditions are investigated to deposit TiO2 films on Si waf

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